零部件清潔度檢測，是使用液體介質(zhì)通過一種或多種機械清洗方法，將零部件表面的污染物分離到液體介質(zhì)中，并通過濾膜收集液體介質(zhì)中的污染物，最后利用儀器分析污染物的重量、尺寸、數(shù)量、類型等的測試方法。對于許多行業(yè)，對于幾乎所有的零部件，清潔度檢測都非常重要。

以汽車清潔度檢測為例，既體現(xiàn)在對產(chǎn)品性能的影響，又體現(xiàn)在對整車壽命的影響。如果燃油管路堵塞造成發(fā)動機啟動困難或功率不足，潤滑油路堵塞導致機油壓力不足或無壓力使運動副之間摩擦力增大，發(fā)動機不能發(fā)揮有效功率，甚至引起拉缸故障制動管路堵塞，將減低制動效果，或造成制動失靈。實驗統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，對柴油機的零件和整機進行清潔度處理之后，壽命較之前提高了一倍以上。

因此要確保零部件的質(zhì)量和可靠性，必須嚴格執(zhí)行清潔度檢測，涉及的行業(yè)包括：汽車零部件及再制造、半導體、通訊設備、精密儀表、液壓潤滑系統(tǒng)、軸承、發(fā)動機、汽輪機、航空零部件、數(shù)據(jù)儲存設備、醫(yī)療設備、大型工礦設備等。

清潔度檢測的方法對過程控制、品質(zhì)保證和失效分析非常重要，是獲得零部件清潔度數(shù)據(jù)的詳細過程。常用的清潔度檢測方法有目視檢查法、稱重法、接觸角法、熒光發(fā)光法、顆粒尺寸數(shù)量法等。在半導體領域需用到氯化鈉當量法、離子清潔度測試等方法。

汽車制造行業(yè)中，主機廠對于機械零件除了尺寸公差、強度指標等參數(shù)會提出嚴格的要求以外，還會對零件的清潔度提出較高的要求。因為清潔度檢測對最終產(chǎn)品的長期耐用性、可靠性及預期壽命方面都發(fā)揮著舉足輕重的作用。

據(jù)統(tǒng)計，用于汽車發(fā)動機清潔的工作量約占制造過程總量的10%～20%，不同企業(yè)在裝配前的清洗工藝與清洗質(zhì)量的不同，可導致零部件運轉(zhuǎn)壽命相差10～100倍。為避免裝配后為零件帶來的磨損、堵塞氣路、油路等一系列問題，清潔度檢測需要控制分析齒輪、氣門、活塞、缸體缸蓋甚至噴油嘴等金屬零件制品的沾附雜質(zhì)，這些雜質(zhì)包括在生產(chǎn)環(huán)節(jié)機械加工過程中產(chǎn)生的金屬碎屑、研磨拋光殘留物（如硅酸鹽、二氧化硅）。在汽車零部件從中轉(zhuǎn)庫、庫房、檢測實驗室，所經(jīng)歷的打包、運輸、環(huán)境變化、拆包等過程對其表面顆粒物的數(shù)量和形狀也會帶來影響。

常見分析手段大致包括重量測量、光學顯微鏡分析、電子顯微鏡統(tǒng)計。稱取重量可以簡單直觀的告訴操作人員整個零件的基本污染情況。光學顯微鏡可以用于判斷污染物的大小。電子顯微鏡則用于做最終的精確統(tǒng)計測量，可以對每一顆顆粒的大小、形態(tài)、所含化學元素等進行全方位的判定，從而可以起到判定合格率、確定污染源等作用。

集成電路

清潔度檢測方法：陰陽離子測試法、氯化鈉當量法、離子色譜法、多功能顆粒分析法。

集成電路生產(chǎn)中可能接觸到的主要污染物有：微粒雜質(zhì)、無機離子、有機物質(zhì)、微生物以及氣體雜質(zhì)等，污染物主要來源于電鍍、波峰焊、回流焊和化學清潔等工藝，主要有助焊劑殘留、電離表面活化劑、乙醇、氨基乙醇和人體汗液等污染形式。因此，可通過離子清潔度測試，確定污染物來源，降低產(chǎn)品不良率，提升運行性能。適用于電路板的清潔度檢測方法又分為陰陽離子測試法、氯化鈉當量法、離子色譜法、多功能顆粒分析法。典型應用是PCB板的清洗驗證和檢測，玻璃面板清洗后的顆粒檢測，芯片的光刻后清洗的驗證。

• IPC-TM-650,2,3,28標準規(guī)定，陰陽離子法測試項目主要包括6種陽離子、7種陰離子、8種有機酸。（表格來源：美信檢測）

陰陽離子測試法：主要是應用一定比例的異丙醇與水的混合溶液浸泡樣品表面，使樣品表面的污染物溶入溶液當中，然后通過測試溶液中的陰陽離子以及有機酸的種類及其含量來分析其污染程度的方法

氯化鈉當量法：氯化鈉當量法是用超純凈的萃取溶液從電子部件上移去工藝過程中留下的殘余物。對清潔結果的測量是以電導率或電阻系數(shù)為評判依據(jù)。

離子色譜法：根據(jù)不同離子在流動相和固定相中的吸附和解吸附程度不同，離子通過吸附柱的時間不同，從而實現(xiàn)離子分離。然后根據(jù)離子峰面積大小，計算出檢測離子的濃度。

多功能顆粒分析法：為一種圖像法粒度分布測試以及顆粒型貌分析等多功能顆粒分析系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括光學顯微鏡、圖像測試CCD 攝像頭、三維立體載物平臺、圖像法顆粒分析系統(tǒng)軟件、電腦、打印機等部分組成。

航天發(fā)動機

清潔度檢測方法：在線檢測和取樣檢測、稱重法、自動顆粒計數(shù)法、顯微分析法

航空發(fā)動機作為一個集機、電、液、控高度集成的高科技產(chǎn)品，其在機加、鑄造、包裝、拆解、儲存、裝配等過程中，不可避免會產(chǎn)生、遺留、引入顆粒污染物在零部件內(nèi)部或配合面。航空發(fā)動機更是一種要求有極致質(zhì)量和可靠性的精密機械系統(tǒng)。從幾何尺寸角度看，其轉(zhuǎn)子軸承的徑向間隙范圍為14～93μm，接觸零件的油膜厚度為10～20μm，要嚴格控制微米級尺度的顆粒污染物的量，開展清潔度檢測控制。

通過清潔度檢測可在很大程度上避免燃滑油異常及過燒、油路系統(tǒng)堵塞、傳動部件磨損、軸承干研、轉(zhuǎn)靜子刮磨等故障，節(jié)省大量型號研制時間和成本。因此，零部件清潔度檢測對于航空發(fā)動機研制水平的提升，以及提高航空發(fā)動機產(chǎn)品質(zhì)量、性能、可靠性和降低直接使用成本等都具有重要意義。

• 航空發(fā)動機零部件清潔度等級 （表格來源：源于航空動力）

  
  

根據(jù)使用場景不同，航空發(fā)動機清潔度檢測方法可分為在線檢測和取樣檢測兩種。在線監(jiān)測方法主要用于發(fā)動機工作過程中的燃油、滑油污染物監(jiān)測，常見方法為油液磁塞監(jiān)測法。根據(jù)取樣檢測目的不同又分為顆粒元素種類檢測和普通取樣檢測等類別。顆粒元素種類檢測多用于故障分析中的顆粒物來源研究，常見方法為鐵譜分析法和光譜分析法等。普通取樣檢測主要用于清洗后零部件的清潔度等級確認。

稱重法、自動顆粒計數(shù)法、顯微分析法也適用于航空發(fā)動機零部件表面的顆粒污染物檢測。