目視檢查法：

目視檢查法即由人工直接用眼睛在顯微鏡下對(duì)零件可以看到的外表面或內(nèi)腔表面進(jìn)行檢查。調(diào)節(jié)顯微鏡的照明亮度和放大倍數(shù)，人工可以判斷污染顆粒是金屬、非金屬、或纖維以及尺寸大小。目測(cè)法可以檢查殘留在零件表面的比較大而明顯的顆粒、斑點(diǎn)、銹斑等污染，但檢查的結(jié)果與人為的因素關(guān)系很大。

稱重法：

稱重法是工業(yè)生產(chǎn)和試驗(yàn)中最常用的清潔度測(cè)定方法。其測(cè)定原理是將一定數(shù)量的試樣在一定的條件下進(jìn)行清洗，然后將清洗的液體通過濾膜充分過濾，污物被收集在經(jīng)過干燥的濾膜表面，將濾膜再次充分干燥，根據(jù)分析天平稱出過濾清洗前后干燥的濾膜質(zhì)量，計(jì)算其增加值即為試樣品上的固體顆粒污染物的質(zhì)量。

顆粒尺寸數(shù)量法：

這是一種零件清潔度測(cè)定的新方法。其基本原理是根據(jù)被檢測(cè)的表面與污染物顆粒具有不同的光吸收或散射率。其測(cè)試方法是，將一定數(shù)量的零件在一定的條件下清洗，將清洗液通過的濾膜充分過濾，污物被收集在濾膜表面，然后將濾膜干燥，用顯微鏡（最佳設(shè)備是具有拍攝功能的圖像識(shí)別和分析設(shè)備）在光照射下檢測(cè)，按顆粒尺寸和數(shù)量統(tǒng)計(jì)污物顆粒，即可得到所測(cè)物體零件的固體顆粒污染物結(jié)果。這是一種適合精密清洗定量化的清潔度檢測(cè)方法，尤其使用于檢測(cè)微小顆粒和帶色雜質(zhì)顆粒。